В вакууме так или иначе присутствуют или появляются вполне реальные частицы вещества. Для вакуумных камер существует вполне конкретная характеристика натекания, показывающая, сколько литров (л) газа попадает в камеру за 1 сек при заданном давлении в Па. Определенным натеканием обладают и сварные швы, уплотнение стыки и сами материальные стенки вакууммируемого объема. Также натекание происходит с поверхностей стенок вакуумного объема - это называется газовыделение.