Наиболее правильный вариант в качестве основания под плитку использовать листовой материал на цементной основе, к которому будет хорошая адгезия плиточного клея и не произойдёт разрушения, даже при условии попадания воды под плитку. Такими свойствами обладают цеметно минеральные листы армированные с двух сторон стеклосеткой. Выкладываю пошаговый монтаж основания в виде картинок. Более подробную инструкцию можно прочитать здесь: https://armpanel-msk.com/pokupatelyam/oblast-primeneniya-armpaneley/poly
Такая конструкция в состоянии скомпенситовать деформации деревянного основания связанного с изменением влажности древесины. При правильном монтаже такой пол прослужит длгие годы.