Тут может быть несколько причин. Если сплит система старая, то просто появились люфты на осях вентилятора и поэтому идет вибрация, может обмерзает испаритель и об него цепляется вентилятор. А может быть и причина на наружнем блоке. Может даже просто ослабнуть болты крепления блока к кронштейну или болты крепления кронштейна к стене. Если он трясется во время работы, то вибрация передается по трубкам на внутренний блок.