Это разные персонажи.
Сатана - это "отец лжи", противник бога Яхве.
Люцифер - это ангел света и бог утренней звезды.
Мефистофель - это демон из немецкого фольклора. Раньше он был самостоятельным мифологическим персонажем, но со временем стал неотъемлемой частью легенды о докторе Фаусте.