Есть 2 основных способа как осуществляется перекачка газов вакуумным насосом:
1) Перекачка газообразной среды.
Делятся на кинетические помпы и помпы объемного вытеснения.
Метод работы кинетических помп состоит в том, что передаётся импульс молекулам перекачиваемой среды от лопастей, крутящихся с большой скоростью для поддержания стабильного перемещения среды, которая закачивается в насос и выталкиваются в выходную трубопроводную магистраль. Подобные установки зачастую не обладают высокогерметичными камерами, но благодаря своей конструкции способны достичь сильного сжатия при очень малом давлении в камере, от куда откачивается газ.
Принцип действия объемных насосов базируется на механическом газоулавливании объема и проведении его через помпу. Камера у таких насосов уже герметична, в ней газ сжимается поршнем или другим механическим элементом (ротор и тд), создаётся давление, и газ поступает в выходную трубопроводную магистраль. Такие насосы весьма популярны.
2) Улавливание газа
Установки такого типа действуют по технологиям, основанным на газоулавливании молекул. Они способны захватить частички газа на поверхностях в вакуумной системе. Эти насосы действуют при более низких расходах, нежели рассмотренные выше насосы, но способны создавать очень высокий, не содержащий масла, вакуум, до тор. Улавливающие помпы перекачивают среды с применением таких методов, как криогенная конденсация, ионная или химическая реакция и не содержат в своей конструкции механически подвижных элементов.
Материал взят из статьи Вакуумный насос