Не смотря на то что я считаю себя весьма сведущим человеком в очистке сточных вод точного ответа дать наверное не смогу. Знаю что при относительно высоком содержании в производственных сточных водах растворимых органических веществ, представляющих техническую ценность (например, фенолы, жирные кислоты), эффективным методом очистки является экстракция органическими растворителями – экстрагентами.
Таким образом, это можно распространить и на сточные воды в микроэлектронной промышленности, если стоит задача извлекать некоторые полезные вещества из этих вод - смысл есть, если такой задачи не стоит, проще и дешевле использовать другие методы: осаждения с последующей фильтрацией или мембранный метод.